مع تطوير التطبيقات الفراغية ، كانت هناك أنواع عديدة من مضخات التفريغ ، مع سرعة الضخ تتراوح بين بضعة أعشار لتر في الثانية إلى مئات الآلاف وملايين اللترات في الثانية.
كما أن تكنولوجيا التطبيقات الفراغية في مجال الإنتاج والبحث العلمي لمتطلبات نطاق التطبيق من الضغط هي أكثر وأكثر اتساعًا ، فغالبًا ما تحتاج إلى عدة عمليات شائعة بعد استخلاص الفراغ من نظام شفط فراغ يمكن أن تلبي متطلبات الإنتاج والعلمية عملية البحث ، لأن قسم تطبيق فراغ تشارك في نطاق ضغط العمل واسع جدا ، لذلك أي نوع واحد من مضخة فراغ لا يمكن أن تنطبق بشكل كامل على كل نطاق ضغط العمل ، يمكن أن تعمل فقط وفقا لنطاق ضغط مختلف ومتطلبات العمل المختلفة ، وذلك باستخدام أنواع مختلفة من مضخة فراغ. لراحة الاستخدام ومتطلبات عمليات الفراغ المختلفة ، يتم الجمع بين مضخات الفراغ المختلفة في بعض الأحيان وفقا لمتطلبات الأداء وتطبيقها في شكل وحدات.
مضخة نقل الغاز
مضخة نقل الغاز هي مضخة فراغية يمكنها أن تجعل الغاز يستنشق الهواء والزفير بشكل مستمر ، وذلك لتحقيق الغرض من استخراج الهواء.يمكن تقسيمها إلى مضخة فراغ ذات حجم متغير ومضخة نقل الزخم.
مضخة الفراغ Transcapacitance هي مضخة فراغية تستخدم التغيير الدوري لحجم غرفة المضخة لاستكمال عملية الشفط والعادم. يتم ضغط الغاز قبل أن يتم تفريغه. وتنقسم المضخة إلى مضخات ترددية ودوارة. تعتمد مضخة نقل الزخم على شفرات دوارة عالية السرعة أو نفاثات عالية السرعة ، والتي تنقل الزخم إلى جزيئات الغاز أو الغاز ، بحيث يتم نقل الغاز بشكل مستمر من مدخل المضخة إلى المخرج. ويمكن تقسيمه إلى خمسة أنواع: مضخة فراغ جزيئية ، فراغ نفاث مضخة ، ومضخة نشر ، ضخ طائرة نشر ومضخة نقل ايون.
محبس مضخة الغاز
مضخة الغاز المحتبسة هي نوع من مضخة التفريغ التي تجعل جزيئات الغاز تمتص أو تتكثف على السطح الداخلي للمضخة ، وبالتالي تقلل من عدد جزيئات الغاز في الحاوية لتحقيق الغرض من استخراج الهواء. يمكن تقسيمها إلى مضخة الامتصاص ، مضخة getter ، مضخة أيون بيض ومضخة التبريد.